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各式真空泵的工作原理 無油干式機械真空泵（又簡稱干式機械泵）指泵能從大氣壓力下開始抽氣。泵腔內無油或其他工作介質，又能將被抽氣體直接排到大氣中去。而且泵的極限壓力與油 封式真空泵同等量級或者接近的機械真空泵。 目前。泵內起冷卻、密封、潤滑等多種作用。隨著科學技術的發展以及真空應用領域的擴大，真空行業使用的大多數機械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流體充 任泵的工作介質。原有的機械真空泵及其組成的抽氣系統出現了兩個急需解決問題：一是泵的工作介質返流污染被抽容器，而這種返流在許多情況下影響產品的質 量、數量，增加設備的維護本錢。其次，由于某些工藝過程中的反應物質使真空泵內的介質嚴重蛻變，使泵不能正常工作。 對于普通的無油真空系統來說。但不能完全解決問題，雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流。而且使系統顯得復雜。而使用適當型式的干式 機械真空泵，則可以達到理想的使用效果。 干式機械真空泵的應用是廣泛的主要有以下幾個方面： 1低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中； 2半導體刻蝕工藝。這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒； 3除半導體工藝外的某些發生微粒的工藝。而希望微粒排出泵外，不希望微粒混入泵油中。則用干式機械真空泵可以滿足要求； 4化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵； 5用做一般無油清潔真空系統的前級泵，以防止油污染。 近年來。國外多家大真空公司都研制出了新型的干式機械真空泵。國內的許多單位也一直在進行干式機械真空泵的開發研制工作，干式機械真空泵得到迅速的發展。 如東北大學、沈陽真空技術研究所、上海真空泵廠等。目前，干式機械真空泵主要分為接觸型及非接觸型。接觸型的干式真空泵主要有葉片式、凸輪式、往復活塞 式、膜片式等，這類泵的速度較低，適用于小容量高壓縮比（單級壓縮比）非接觸型的干式泵有：羅茨型、爪型、螺桿型、渦旋型等，其速度較高，適用于大容量， 低壓縮比（指單級壓縮比）不同類型的干式泵具有各自的特點。使用時可根據不同的用途加以選擇。 油封式真空泵是用油來堅持運動部件的密封、靠泵腔容積變化而實現抽氣的機械真空泵統稱。工作原理都是使泵腔工作室容積機械地增大和縮小而抽氣。當泵腔內工 作室容積變得最小時。于是氣體進入泵吸入腔，與泵的入口管道連通。一直到吸入腔容積最大偏重新與進氣口分開時為止。當容積減少時，氣體被壓縮，直到氣體的 壓力大于一個大氣壓，排氣閥被打開，將氣體排出。 用油作密封泵的必要性：當前大量使用的機械真空泵。相向運動的零件間配合精度即使很高。泵達到極限真空時，即使設計得最好。也難以阻止氣體由低真空端向入 口端“突破”返流。另外，由于泵在設計制造及裝配中不可防止地存在有害空間，這也降低泵的極限真空度。油封式真空泵就是用油將相向運動的零部件和排氣閥零 件間密封起來；將有害空間充填，使得高壓氣體反“突破”機會少得多，密封性能也就好得多，從而使泵能達到較高的真空度。歡迎你訪問上海耐勵泵業 http://www.shnaili.com/
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